Klasifikácia chemickým nanášaním pár
Existuje mnoho metód chemickej depozície pár, ako je atmosférický tlak CVD (APCVD), nízkotlakový CVD (LPCVD), ultrahigh vákuum CVD (UHVCVD), laserová chemická depozícia pár laserom (LCVD), chemicko-organická chemická depozícia pár (MOCVD). , chemická depozícia parami v plazme (PECVD) atď.