Základné princípy skenovacieho elektrónového mikroskopu
Elektrónový lúč vyžarovaný snímací elektrónový mikroskopický elektrónový pištoľ je zaostrený a kondenzovaný do bodového svetelného zdroja; bodový svetelný zdroj tvorí vysoko energetický elektrónový lúč pod zrýchľujúcim sa napätím; vysoko energetický elektrónový lúč je zaostrený na svetelnú škvrnu s malým priemerom cez dve elektromagnetické šošovky a prechádza cez poslednú Po elektromagnetickej šošovke so skenovacom zvitku elektrónový lúč bombarduje povrch vzorky bod po bode rastrovým skenovaním a zároveň vzbudzuje elektronické signály rôznych hĺbok.